应用说明: 直接驱动,刚性高,定位精度高达±1μ,应用于激光检测、扫描、光刻、晶圆探针、紧密机床等超高精度设备
应用说明: 直接驱动,刚性高,定位精度高达±1μ,应用于激光切割、激光雕刻、激光打标,紧密机床、半导体生产设备等