应用说明： 洁净式环境内，利用机械手臂高精度移栽与定位功能，实现自动化设备的高效性能。 规格：MX170
应用说明： 洁净式环境内，利用机械手臂高精度移栽与定位功能，实现自动化设备的高效性能。 规格：MX60
4/8轴运动控制卡
应用说明： 直接驱动，刚性高，定位精度高达±1μ，应用于激光检测、扫描、光刻、晶圆探针、紧密机床等超高精度设备
应用说明： 直接驱动，刚性高，定位精度高达±1μ，应用于激光切割、激光雕刻、激光打标，紧密机床、半导体生产设备等
